無油干式機械真空泵工作原理分析

據了解，無油干式機械真空泵（又簡稱干式機械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。

目前，真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成本。其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作。

對于普通的無油真空系統來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。

干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：

1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛猓瑒t用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；

4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。

近年來，干式機械真空泵得到迅速的發展，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發研制工作，如東北大學、沈陽真空技術研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級壓縮比）。不同類型的干式泵具有各自的特點。使用時可根據不同的用途加以選擇。