利用印刷工藝制作使用碳納米管技術(shù)問(wèn)世

 　　美國(guó)Optomec利用印刷工藝制作出了使用碳納米管（CNT）、工作頻率5GHz的晶體管新聞發(fā)布。由美國(guó)麻省州立大學(xué)（University of Massachusetts）和美國(guó)Brewer Science共同開(kāi)發(fā)。由于使用Optomec的印刷技術(shù)“Aerosol Jet”就可以形成晶體管的全部構(gòu)成要素，因此無(wú)需真空工藝和曝光工藝。

　　Aerosol Jet已用于制造太陽(yáng)能電池和燃料電池等的印刷設(shè)備。首先，將導(dǎo)電性及非導(dǎo)電性墨水或漿料制成空氣溶膠，而后進(jìn)行液滴噴射。

　　此次，利用印刷技術(shù)在Kapton板上形成通道寬200μm、長(zhǎng)100μm的晶體管。以5GHz頻率工作時(shí)的開(kāi)關(guān)電流比大于100。半導(dǎo)體層采用密度為1000μmsup2sup的具有微細(xì)結(jié)構(gòu)的CNT。

　　麻省州立大學(xué)等發(fā)表的論文稱(chēng)，柵極和漏極的形成均采用了美國(guó)UT Dots的Ag墨水。在130℃的條件下燒結(jié)30分鐘。

　　此前，NEC曾發(fā)布過(guò)利用印刷技術(shù)制作全部構(gòu)成要素的CNT晶體管。